LABO Mai 2010 50 Marktübersicht „Schichtdicken-Messgeräte“ Anbieter Modell Außenmaße (B x H x T cm) Gewicht (kg) Messprinzip Zerstörungs- freies Mess- verfahren Einsatz während der Schichtherstellung möglich? Die- lektrika messbar Halbleiter messbar Metalle messbar Helmut Fischer FMP30 8,9 x 17 x 4 0,395 magnetinduktiv ja nein ja nein ja ISOSCOPE FMP30 8,9 x 17 x 4 0,395 Wirbelstrom ja nein ja nein nein DUALSCOPE FMP100 8,9 x 17 x 4 0,395 magnetinduktiv / Wirbelstrom ja nein ja nein ja PHASCOPE PMP10 8,5 x 18 x 4 0,4 phasensensitives Wirbelstromverfahren ja nein ja nein ja FISCHERSCOPE X-RAY XAN Serie 38 x 34 x 57 42 EDXRF Röntgenfl uoreszenz ja nein nein ja ja X-RAY XUL Serie 39,5 x 51 x 58 45 ja nein nein ja ja X-RAY XDL Serie 57 x 65 x 76 120 ja nein nein ja ja X-RAY XDAL Serie 57 x 65 x 76 120 ja nein nein ja ja X-RAY XDLM Serie 57 x 65 x 76 120 ja nein nein ja ja X-RAY XDV Serie 66 x 72 x 83,5 120 ja nein nein ja ja X-RAY XUV Serie 64 x 76 x 64 120 ja nein nein ja ja X-RAY 4000 Serie spezifi sch 120 ja ja nein ja ja X-RAY 5000 Serie 23,6 x 37 x 35 37 ja ja nein ja ja COULOSCOPE CMS 35 x 14 x 20 3,5 Coulometrie nein nein nein nein ja BETASCOPE 36 x 18 x 27 4 Beta Rückstreuverfahren ja ja ja ja ja MMS-PC2 36 x 18 x 27 4 verschiedene, modular ja nein ja nein ja mtv PosiTest DFT 4 x 10 x 3 0,3 Wirbelstrom- bzw.
magnet- induktiv ja nein nein nein ja PosiTector 200 6 x 18 x 4 0,5 Ultraschall ja nein nein nein nein PosiTector 6000 6 x 18 x 4 0,5 Wirbelstrom- bzw.
magnet- induktiv ja nein nein nein ja Ocean Optics NanoCalc-2000 Refl ektometer ja ja ja ja ja SpecEl-2000 Ellipsometer ja nein ja ja ja omt - optische messtechnik TFA - Spektral - Ellipsometer Gerät: 66 x 40,5 x 26 Controller: 24 x 18,5 x 34 Gerät: 14,8 Controller: 5,6 Änderung des Polarisations- zustandes des Lichtes nach Refl exion an der Probe ja nein ja ja ja, bis ca.
50 nm TFA - Refl ektometer Gerät: 26 x 33 x 30 Controller: 26 x 27 x 21 Gerät: 5,6 Controller: 6,2 Schichtdicke: Interferenz Farbe, Feuchtigkeit usw.: Refl ek- tion/Transmission ja Messkopf kann in eine Produktionsanlage integriert werden ja ja ja, bis ca.
50 nm PCE PCE-CT 30 5,8 x 11,8 x 3,8 0,15 Wirbelstrom und magnetisch- induktiv ja ja, nur bei festen Schichten ja nein ja PCE-CT 40 5,8 x 11,8 x 3,8 0,15 magnetisch-induktiv ja ja nein ja PCE-CT 25 10,5 x 14,8 x 4,2 0,157 magnetisch-induktiv ja ja nein ja PCE-CT 26 6,5 x 12,6 x 2,7 0,13 magnetisch-induktiv ja ja ja ja PCE-CT 28 6,5 x 12,6 x 2,7 0,12 magnetisch-induktiv ja ja ja ja PCE-CT 50 5,8 x 11,8 x 3,8 0,15 Wirbelstrom ja ja nein ja PHYNIX Surfi x Pro 13,5 x 6,5 x 2,5 0,2 magnet-induktiv und Wirbelstrom ja nein ja ja ja Surfi x 13,5 x 6,5 x 2,5 0,2 ja nein ja ja ja Pocket-Surfi x 10,7 x 5,0 x 2,5 0,09 ja nein ja ja ja Surfi x easy 10,7 x 5,0 x 2,5 0,09 ja nein ja ja ja PaintCheck 10,7 x 5,0 x 2,5 0,09 ja nein ja ja ja Roenalytic maXXi 5 70 x 67 x 75 90 Röntgenfl uoreszenz ja nein nein ja ja ComPact 5 40 x 45 x 65 60 Röntgenfl uoreszenz ja nein nein ja ja Compact eco 40 x 45 x 60 40 Röntgenfl uoreszenz ja nein nein ja ja ecoMaster 58 x 55 x 68 50 Röntgenfl uoreszenz ja nein nein ja ja NanoMaster 78 x 56 x 46 100 Röntgenfl uoreszenz ja nein nein ja ja tec5 MultiSpec 42,7 x 18,0 x 41,1 12 Weisslichtinterferenz ja ja nein ja nein EvaluationLine 22,0 x 15,0 x 7,2 (2x) 2,7 Weisslichtinterferenz ja ja nein ja nein MARKTÜBERSICHT (Diese und weitere Marktübersichten fi nden Sie
