Schichtdicken-Messgeräte

Helmut Fischer
Wissen, Kompetenz, Erfahrung – darauf ist Verlass: Nach diesem Grundsatz entwickelt man bei FISCHER seit nahezu 60 Jahren innovative Messtechnik für die Schichtdickenmessung, Materialanalyse, Mikrohärtemessung und Werkstoffprüfung.

Das Produktsortiment von FISCHER umfasst ein breites Spektrum an Mess- und Analysegeräten für die unterschiedlichsten Anwendungen und Industrien. Dabei kommen die jeweils passenden Messverfahren zum Einsatz – für ein richtiges Ergebnis mit optimaler Präzision. Ob magnetinduktiv oder mit Wirbelstrom, mit dem Beta-Rückstreuverfahren, coulometrisch, per Mikrohärte oder Röntgenfluoreszenz – FISCHER hat die richtige Technologie.

Messtechnik von FISCHER ist heute überall auf der Welt im Einsatz, wo Genauigkeit, Präzision und Qualität gefordert sind. Denn nur was sorgfältig erdacht und perfekt gebaut ist, kann letztendlich optimal funktionieren.

Mit moderner, leistungsfähiger Elektronik und Software werden aus Messgeräten mächtige Werkzeuge. Schon die kleinsten Messgeräte von FISCHER haben deshalb Funktionen zur Auswertung und Darstellung der Messwerte an Bord. Denn nur wer richtig misst und daraus die richtigen Schlüsse zieht, kann auch richtig reagieren. Mit FISCHER Messgeräten ist das einfach. Darauf ist Verlass.

Diese Antwort stammt von Dipl. Ing. (FH) Michael Oberst, Leiter Marketing.

omt
Das kompakte Dünnschichtmessgerät TFA-Reflektometer bietet sich für wissenschaftliche und industrielle Anwendungen an. Neben der Schichtdicke können weitere Eigenschaften von Oberflächen bestimmt werden: Farbe, Glanz, Rauigkeit, Feuchtigkeit bzw. chemische Zusammensetzung und Reflektion. Außerdem lässt sich das Messgerät erweitern, so dass zusätzlich Transmissionsmessungen möglich sind.

Das TFA-Reflektometer beinhaltet eine Breitbandlichtquelle mit einer hohen Leuchtdichte und ein Spektrometer, welches an die Bedingungen der Probe angepasst werden kann. Standardmäßig wird ein Spektrometer mit einem Wellenlängenbereich von 380...1000 nm und einer Auflösung von 2 nm eingesetzt.

Für in-line Prozesskontroll-Anwendungen stehen verschiedene Lösungen für Vakuumprozesse oder für raue Umgebungen zur Verfügung.

Für Anwendungen im Labor kann die Standardkonfiguration vielfach erweitert werden: z.B. motorisierter Probentisch, Videobeobachtung oder zusätzliche Fasereingänge.

Wir empfehlen unser Schichtdickenmessgerät u.a. für die Qualitätskontrolle in der Solarzellenproduktion, für die Schichtdickenbestimmung in der Halbleiterindustrie oder für die Feuchtigkeitskontrolle von Papier oder Folien während deren Produktion.

Diese Antwort stammt von Susanne Mönch, Projektleiterin.

tec5
Mit tec5-Spektrometersystemen lassen sich Schichtdicken berührungs- und zerstörungsfrei im Labor und Prozess in wenigen Millisekunden bestimmen. Dafür wird das Phänomen der Weißlichtinterferenz genutzt: Auf eine transparente Schicht eingestrahltes Licht wird sowohl an der oberen als auch an der unteren Grenzfläche zum Teil reflektiert. Durch die Überlagerung der beiden reflektierten Strahlen ergibt sich ein spezifisches Interferenzspektrum, dessen Erscheinungsform von deren Schichtdicke bestimmt wird. Die gesuchte Schichtdicke lässt sich über eine Fourier-Transformation aus dem Interferenzspektrum für Einzel- und Doppelschichten berechnen. Die eingesetzten kompakten Spektrometermodule, ohne bewegliche Teile, zeichnen sich durch eine hervorragende Wellenlängenstabilität aus und müssen während ihrer gesamten Nutzungsdauer nicht nachkalibriert werden.

Die Software FTM-ProVis Lite berechnet das Schichtdickenergebnis in Echtzeit und kann verschiedene Online-Grafiken darstellen und speichern.

Diese Antwort stammt von Susanne Klapper, Marketing Manager, tec5 AG.