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Reinraumumbau

Neue Reinraumbereiche für Fraunhofer IPMS

Für das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS (Fraunhofer IPMS) hat die WISAG Industrie Service Gruppe den Umbau des bestehenden Reinraums sowie den Neubau der Reinraumdecke übernommen und einen Klimakonstant-Reinraum für eine „E-Beam“-Kammer im Bereich der Reinraumfläche errichtet.

Die Unterverteilung für die Versorgung im Plenum. © WISAG Industrie Service Holding

„Wir wurden zunächst beauftragt, in dem bestehenden Reinraum auf einer Fläche von rund 4 000 Quadratmetern die Sanierung sowie den Um- und Neubau der Reinraumdecke und technischer Einbauteile vorzunehmen“, schildert Axel Tesch, Vertriebsingenieur der WISAG Gebäude- und Industrieservice in Dresden. Und für die Errichtung eines Klimakonstant-Reinraumes in der Bestands-Reinraumfläche wurden 800 Quadratmeter Reinraumdecke neu errichtet, rund 500 Filter-Fan-Units (FFUs) neu installiert und zirka 200 FFUs aus dem Bestand aufbereitet und mit neuen Filtern bestückt. Für den Einbau des Klimakonstant-Reinraumes installierte die Wisag einen neuen Doppelboden, Reinraumwände mit spezieller Beschichtung, Reinraumdecke mit Beleuchtung, FFUs inklusive der Präzisionskühler sowie die Plenumdecke.

„Für den Elektronenstrahlschreiber sind spezielle Forderungen hinsichtlich Raumklima (Temperatur und Feuchte), Partikelzahl und Schwingungsentkopplung notwendig“, erklärt der Vertriebsingenieur. „Damit der Elektronenstrahlschreiber genau arbeiten kann, wird ein Reinraum der ISO-Klasse 3 mit einer konstanten Temperatur von 22 °C +/– 0,05 K benötigt. Unsere Aufgabe war es, in den bereits bestehenden und in Betrieb genommenen Reinraum einen weiteren Reinraumbereich zu integrieren.“ Dafür musste der Industriedienstleister alle Materialien mit hohem logistischen Aufwand einschleusen: Die benötigten Materialien wurden in Folie verpackt angeliefert, in der Materialschleuse gereinigt und anschließend in den Reinraum eingebracht.

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Quelle: WISAG

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