Gasanalysesysteme SPM 220/HPA 220

Gasanalysesysteme

Einfache Systemintegration

Das Unternehmen Pfeiffer Vacuum hat mit den Gasanalysesystemen Sputter Process Monitor SPM 220 und High Pressure Analyzer HPA 220 zwei neue Produkte auf den Markt gebracht. Beide Systemlösungen basieren auf dem bewährten Massenspektrometer PrismaPlus, und zwar in Kombination mit einem trocken verdichtenden HiPace-Turbopumpstand. Die Gasanalysensysteme finden ihren Einsatz in der Überwachung und Dokumentation von Vakuumprozessen, wie zum Beispiel der Beschichtung von Architekturglas oder Dünnschichtsolarzellen. Sowohl der SPM 220 als auch der HPA 220 sind in den Massenbereichen 1...100 und 1...200 amu erhältlich, der HPA 220 auch für den Massenbereich 1...300 amu.

Der Sputter Prozess Monitor SPM 220 zeichnet sich durch eine speziell entwickelte Ionenquelle aus, welche eine direkte Verbindung des Analysators mit der Prozesskammer ermöglicht. Auf diese Weise lassen sich die speziellen Vakuumbedingungen von Sputterprozessen und ähnlichen Anwendungen bis zu einem Druck von 10-2 mbar momentgenau überwachen. Durch ein zusätzliches Blendensystem ist der Druckbereich sogar bis 10 mbar erweiterbar.

Der hier vorgestellte High Pressure Analyzer HPA 220 ist je nach Anwendungsbedingung mit drei verschiedenen sowohl manuell als auch elektropneumatisch bedienbaren Gaseinlassventilen erhältlich. Sein modularer Aufbau macht ihn zu einer flexibel einsetzbaren Vakuumlösung für Gasanalysen im Druckbereich von Hochvakuum bis hin zu 50 mbar.

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