Ellipsometer UVISEL

Spektroskopisches Ellipsometer

Neben anderen Messtechniken für die Schichtcharakterisierung bietet HORIBA Scientific das spektroskopische Ellipsometer UVISEL als High-End-System seit zwei Dekaden in der aktuell vierten Generation an. Kontinuierlichen Verbesserungen ist es zu verdanken, dass es dem Anwender eine beispiellose Sensitivität für die Messung zur Verfügung stellt.

Das UVISEL ist in verschiedenen Basismodellen lieferbar, die sich im zugänglichen Spektralbereich (FUV – VIS – NIR) und in der mechanischen Montierung (Goniometer, Mapping-Tische) unterscheiden. Darüber hinaus ist umfangreiches Zubehör wie unterschiedliche Flüssigkeitsmesszellen, Heiz- und Kühltische, Reflektometer oder In-Situ-Adapter für die Installation an Vakuumkammern erhältlich.

Dank der verwendeten Messmethoden liefert das UVISEL eine Empfindlichkeit, die es in die Lage versetzt, z.B. auch bei extrem dünnen Schichten Brechungsindex und Schichtdicke gleichzeitig zu ermitteln. Diese Trennung ist bei vielen Applikationen wie der Adsorption von (organischen) Schichten und bei High-k-Materialien notwendig.

Anzeige
Anzeige

Das könnte Sie auch interessieren

Anzeige
Anzeige
Anzeige
Anzeige

LABO Ausstellerporträts

Am 21. Mai 2019 startet in Hannover die Labvolution. Die LABO-April-Ausgabe mit dem großen Messeschwerpunkt erscheint am 26. April 2019 und liegt auch auf der Messe aus.
Zusätzlich zu Ihrer klassischen Anzeigenwerbung können Sie ein Ausstellerporträt buchen und auf Ihren Labvolution-Messestand einladen.

Zum Highlight der Woche...

PANalytical führt neue RFA-Analysensoftware ein

PANalytical, der weltweit führende Anbieter von analytischen Röntgensystemen und -software, führt eine neue Software für Röntgenfluoreszenzanalysensysteme (RFA) ein. Das Unternehmen entwickelte Stratos, ein brandneues Softwarepaket sowohl für die...

mehr...

Newsletter bestellen

Immer auf dem Laufenden mit dem LABO Newsletter

Aktuelle Unternehmensnachrichten, Produktnews und Innovationen kostenfrei in Ihrer Mailbox.

AGB und Datenschutz gelesen und bestätigt.
Zur Startseite