Ellipsometer UVISEL

Spektroskopisches Ellipsometer

Neben anderen Messtechniken für die Schichtcharakterisierung bietet HORIBA Scientific das spektroskopische Ellipsometer UVISEL als High-End-System seit zwei Dekaden in der aktuell vierten Generation an. Kontinuierlichen Verbesserungen ist es zu verdanken, dass es dem Anwender eine beispiellose Sensitivität für die Messung zur Verfügung stellt.

Das UVISEL ist in verschiedenen Basismodellen lieferbar, die sich im zugänglichen Spektralbereich (FUV – VIS – NIR) und in der mechanischen Montierung (Goniometer, Mapping-Tische) unterscheiden. Darüber hinaus ist umfangreiches Zubehör wie unterschiedliche Flüssigkeitsmesszellen, Heiz- und Kühltische, Reflektometer oder In-Situ-Adapter für die Installation an Vakuumkammern erhältlich.

Dank der verwendeten Messmethoden liefert das UVISEL eine Empfindlichkeit, die es in die Lage versetzt, z.B. auch bei extrem dünnen Schichten Brechungsindex und Schichtdicke gleichzeitig zu ermitteln. Diese Trennung ist bei vielen Applikationen wie der Adsorption von (organischen) Schichten und bei High-k-Materialien notwendig.

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