PTFE-Sonde für Ätzbäder

Ätzbad-Medien in Echtzeit überwachen

Wafer durchlaufen bei ihrer Herstellung eine Vielzahl chemischer Prozesse. Hierbei kommen teilweise ätzende und für den Menschen gefährliche Stoffe wie Flusssäure, Salpetersäure, Salzsäure, Wasserstoffperoxid und viele andere zum Einsatz. Diese Stoffe werden u. a. für spezielle Reinigungsschritte in Ätzbädern benötigt. Um die hohen Qualitätsanforderungen, zum Beispiel bei der Solarzellenherstellung, zu erfüllen müssen die Bäder möglichst stabil gehalten werden. Hierzu ist eine kontinuierliche Kontrolle der Badzusammensetzung und bei Bedarf eine Korrektur dieser Zusammensetzung notwendig. Diese Überprüfung erfolgte bisher durch manuelle Probennahme und einer anschließenden spektroskopischen Analyse.

Neu ist nun, die Zusammensetzung der Inhaltsstoffe mit einer faseroptischen Sonde automatisch und in Echtzeit zu messen. Durch die von Hellma Analytics realisierte Lösung wird eine aufwändige Probennahme überflüssig. Vorteil ist u.a. die exakte Schichtdicke, die bestens reproduzierbare Messergebnisse garantiert. Häufiges Rekalibrieren entfällt dadurch. Die Sonde ist via Lichtleiter mit einem Spektralphotometer verbunden. So kann in Echtzeit die Konzentration der Medien gefahrlos geprüft und bei Bedarf schnell korrigiert werden.

Die besonderen Einsatzbedingungen in aggressiven Medien stellen hohe Anforderungen an das Sondenmaterial. Durch den Einsatz von Teflon® (PTFE) als Material für das Sondenrohr und Saphir für die optischen Komponenten wird die Beständigkeit jederzeit gewährleistet.

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