Mikropositioniereinheit M-880 PDDrei Freiheitsgrade in der Ebene
Physik Instrumente (PI) stellt den neuen, flachen M-880 PD XY-Rotationsversteller vor, der hervorragend für Automatisierungsaufgaben beispielsweise in der LCD- und Halbleiter-Inspektion geeignet ist. Die große Plattform mit 50 x 50 cm positioniert bis zu 20 kg in der Ebene und hält gleichzeitig statisch hohen Lasten bis 150 kg stand. Dadurch können Fertigungsschritte direkt nach der Inspektion ohne weiteres Umlagern ausgeführt werden.
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Drei kompakte DC-Motoren mit dem besonders effizienten ActiveDrive™-Antrieb ermöglichen eine Geschwindigkeit bis zu 20 mm/s. Verschiebungen bis ±10 mm und Drehungen um die Z-Achse um ±4° sind mit einer Auflösung von 0,25 µm zu realisieren. Aus der Hexapodentwicklung stammt das parallelkinematische Prinzip, dass alle Aktoren auf dieselbe bewegte Plattform wirken, wodurch die Positioniereinheit eine sehr flache Bauhöhe von 10,5 cm hat. Präzisionslager sorgen für eine hohe Steifigkeit und dadurch eine minimierte Verkippung um maximal ±10 Bogensekunden. Ein leistungsfähiger Controller auf PC-Basis, über eine RS-232-Schnittstelle ansteuerbar, übernimmt die Koordinatentransformation zur Kommandierung der drei Achsen.
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