Vakuummessgeräte DigiLine

Pirani- und Kaltkathoden-Sensor kombiniert

Der neue Transmitter MPT 100 erweitert die bestehende Reihe der Vakuummessgeräte DigiLine der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Kombination eines Pirani- und eines Kaltkathoden-Sensors ist kompatibel mit den existierenden Steuergeräten und Zubehörteilen. Die Vorteile dieser Kombination sind ein weiter Messbereich von 5 x 10-9...1000 mbar und die Unempfindlichkeit gegen Gaseinbruch. Die beiden Sensoren sind so aufeinander abgestimmt, dass es zu keiner Verschmutzung kommen kann. Aus diesem Grund ist die MPT 100 auch für Beschichtungsanlagen geeignet. Kaltkathoden sind zudem wesentlich robuster als Heißkathoden.

Dank der Digitaltechnik besteht die Möglichkeit des Ein- und Ausschaltens des Kaltkathoden-Sensors über einen externen Software-Befehl. Dadurch wird eine Beeinflussung des Vakuumprozesses vermieden. Aufgrund der Digitaltechnik erreicht die Kaltkathode eine Genauigkeit, die bisher nur von Heißkathoden bekannt war.

Es besteht die problemlose Kombinationsmöglichkeit mit Pfeiffer-Vacuum-Vorpumpen, Turbopumpen oder Lecksuchern über die Schnittstelle RS 485. Optional kann durch einen Feldbuskonverter eine Profibus- oder DeviceNet-Schnittstelle zur Verfügung gestellt werden.

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