In der Reinraumtechnik und Kontaminationskontrolle werden TÜV SÜD und Fraunhofer IZM-M zukünftig in einem Kompetenzzentrum zusammenarbeiten. Eine entsprechende Vereinbarung haben die beiden Partner in München unterzeichnet. Das wichtigste Ziel der Kooperation ist die Einrichtung des weltweit ersten Nullreinraumes als Basis für gemeinsame Dienstleistungen und Forschungsarbeiten.
"In dieser Kooperation haben sich zwei starke Partner zusammengefunden", sagt Dr.-Ing. Horst Wießsieker von der Geschäftsleitung der TÜV SÜD Cleancert GmbH. "Die Gründung unseres gemeinsamen Kompetenzzentrums CCC2 und die Einrichtung des Nullreinraumes sind wichtige Schritte, um die unabhängige Forschung im Bereich der Reinraumtechnik und der Kontaminationskontrolle voranzutreiben." Die Kooperation umfasst die Schwerpunktfelder polytronische Systeme, Mikromechanik, Aktorik und Fluidik, Siliziumtechnologie mit 200mm-CMOS-Linie und vertikaler Systemintegration, chemische Sensorik und Bioanalytik sowie die Analyse und den Test von integrierten Systemen.
"In unserem Kompetenzzentrum werden wir gemeinsam Dienstleistungen für Unternehmen aus dem Bereich der Mikroelektronik und der Medizintechnik entwickeln", erklärt Dr. Weißsieker. Dazu zählen beispielsweise Reinraumtauglichkeitsuntersuchungen für alle Reinraumgeräte und -maschinen nach VDI 2083, Blatt 8 und VDI 2083, Blatt 17, die Energie-Effizienz-Optimierung und der komplette CO2-Footprint inklusive der Evaluierung und Zertifizierung von Geräten und kompletten Halbleiterfabriken, das Fast Ramp-up von Halbleiter-Equipment, die SEMI & Sematech EHS sowie diverse SEMI-Richtlinien-Zertifizierungen.
Weitere Informationen zum Leistungsspektrum von TÜV SÜD Cleancert und von Fraunhofer IZM-M sind zu finden unter www.tuev-sued.de/cleancert und www.izm-m.fraunhofer.de.
