BV Diodenpumpen für UHV-Anwendungen

Diodenpumpen für UHV-Anwendungen

Oerlikon Leybold Vacuum verfügt als Spezialist für Hoch- und Ultrahochvakuumtechnik über langjährige Erfahrung in der Entwicklung und Produktion marktgerechter Komponenten. Die neue Produktlinie hocheffizienter Ionen-Zerstäuberpumpen erfüllt die Forderung nach leistungsfähigen Vakuumpumpen für anspruchsvolle Aufgaben aus der Forschung und Entwicklung. Ionen-Zerstäuberpumpen finden überall dort Anwendung, wo ein absolut sauberes und vibrationsfreies Ultra-Hochvakuum notwendig ist, z.B. bei hochempfindlichen Raster-Elektronen-Mikroskopen, in der Hochenergie-Physik, bei UHV-Aufdampftechnik (MBE) und in Bereichen der Nano-Technik.

Ionen-Zerstäuberpumpen arbeiten nach dem Prinzip des Getterns reaktiver Gasteilchen bzw. Ionenimplantation von Edelgasen und erreichen eine hervorragende Pumpwirkung bis in den UHV-Bereich. Die Ionen-Zerstäuberpumpen von Oerlikon Leybold Vacuum sind Diodenpumpen mit einem optimierten Saugvermögen für Edelgase. Sie sind für Saugvermögen (N2) von 30…400 l/s erhältlich. Diese Produktreihe wird kurz IZ genannt und umfasst die Modelle IZ30, IZ50, IZ100, IZ200 sowie IZ400. Zur direkten Druckmessung bis ca. 10-11 mbar ist das Betriebsgerät IPC erhältlich. Es verfügt über eine integrierte Druckanzeige.

Die wichtigsten Produktvorteile:

  • Absolut vibrationsfreier und geräuschloser Betrieb.
  • Kohlenwasserstoff-freies Vakuum im UHV- bis XHV-Bereich.
  • Hohes Saugvermögen bis 10-12 mbar im UHV durch Diodenprinzip.
  • Hohe Wirtschaftlichkeit, geringe Betriebskosten.
  • Integriertes Ausheizsystem (außer Modell IZ 30).
  • Extrem lange Lebensdauer.
  • Keine beweglichen Teile.
  • Lageunabhängiger Einbau.
  • Wartungsfrei.
  • Keine Zusatzkühlung erforderlich.
  • Schutzmaßnahmen gegen Verunreinigungen bei Stromausfall nicht notwendig.
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