XY-Nanopositionier- und Microscantisch PXY 201 CAPNeuer Piezoantrieb
piezosystem jena erweiterte die Serie PXY um einen neuen XY-Nanopositionier- und Mikroscantisch mit großem freien Durchgang. Der PXY 201 CAP bietet eine freie Apertur von 30 x 30 mm² und einen Verfahrweg von 250 µm ungeregelt bzw. 200 µm im geregelten Betrieb. Mittels einer integrierten hochauflösenden kapazitiven Wegmesssensorik können Drift und Hysterese ausgeglichen werden.
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Das System bietet höchste Positionsstabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Dazu erlauben digitale Controller von piezosystem jena eine Anpassung der Parameter während des Systembetriebs.
Infolge der FEM optimierten Festkörpergelenkführung weist das System eine hohe Bahntreue auf. Durch das Framedesign der Führung ist der Nanopositionier- und Mikroscanningtisch sehr robust gegen große Beladungen.
Zum Minimieren von unerwünschtem Überschwingen und Verkürzen der Einstellzeiten im Scanbetrieb ist der PXY 201 CAP mit integrierten passiven Dämpfungselementen ausgestattet. Als Folge wird auch das Positionsrauschen minimiert.
Aufgrund dieser Eigenschaften und der hohen Zuverlässigkeit ist der Nanopositionierer besonders geeignet für Anwendungen in der Scanningmikroskopie, Oberflächenanalyse, Metrologie und Alignment sowie im Bereich der Nanopositionierung, wo sub-nm-Genauigkeiten und großer innerer Freiraum gefordert werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind verfügbar, ebenso wie Materialvariationen von Invar, Super-Invar, Aluminium oder Titan.
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