XYZ-Nanopositionierer-Serie TRITOR

Nanopositionierung mit hohen Lasten

piezosystem jena entwickelte mit der Serie TRITOR die weltweit ersten kompakten XYZ-Nanopositionierer auf Piezobasis und kann somit als einziger Hersteller auf eine langjährige Erfahrung in der Produktion von Drei-Achsen-Systemen zurückblicken. Die erfolgreiche Serie wurde jetzt erweitert um den TRITOR 340 CAP. Das Element hat eine zentrische Öffnung von 150 x 150 mm und einen Verfahrbereich von 390 µm im ungeregelten Betrieb sowie 280 µm im geregelten Betrieb.

Die Piezokeramiken haben aufgrund ihrer Materialspezifik nachteilige Eigenschaften wie Hysterese und Kriechen. Diese Eigenschaften können durch den Einsatz der integrierten kapazitiven Wegsensoren in Kombination mit den passenden Verstärkern von piezosystem jena kompensiert werden. Durch die kapazitiven Sensoren bietet das System höchste Positionsstabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit.

Aufgrund des Rahmendesigns der Antriebe kann der TRITOR 340 CAP mit einer maximalen Last von 15 kg betrieben werden. Er ist somit bestens geeignet für Anwendungen mit großen Lasten. Das Element kann auch für Vakuumanwendungen genutzt werden und ist in nichtmagnetische Ausführung verfügbar.

Mit all diesen Eigenschaften eignet es sich für Nanopositionier- und Microscanning-Anwendungen, die Sub-Nanometer-Genauigkeit und eine große Apertur bei gleichzeitiger Arbeit mit hohen Auflasten voraussetzen.

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