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Histologie in 3DNeue Färbemethode ermöglicht Nano-CT-Aufnahmen von Gewebeproben

Prof. Franz Pfeiffer montiert eine Probe am Nano-CT-Gerät

Bislang werden Gewebeproben von Patienten für histologische Untersuchungen in dünne Scheiben geschnitten. Das könnte sich in Zukunft ändern: Ein interdisziplinäres Team TUM hat eine Färbemethode entwickelt, die es erlaubt, dreidimensionale Gewebeproben mit dem ebenfalls kürzlich an der TUM entwickelten Nano-CT-Gerät zu untersuchen.

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FTIR-Spektrometer QS1200Speziell für Halbleiter

Das QS1200 FTIR-Spektrometer ist von Nanometrics speziell für die Vermessung von Wafern konzipiert worden. Besonderes Augenmerk wurde auf die Bestimmung von Sauerstoff- und Kohlenstoff-Verunreinigungen in Silizium gelegt, eine der komplexesten Messungen für ein FTIR im Halbleiterbereich.

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FTIR-Spektrometer QS1200: Speziell für Halbleiter

Eine weitere verbreitete Anwendung ist die Bestimmung von Fluor in FSGs und Bor/Phosphor in BPSGs. Da neben Transmissions- auch Reflektionsmessungen möglich sind, lassen sich mit dem Gerät ebenfalls Schichtdicken mit hoher Genauigkeit bestimmen. Hoher optischer Durchsatz und hohe Messgenauigkeit werden u.a. durch den großen 2-Zoll-Strahlteiler garantiert. Mehr Licht auf dem Detektor bedeutet ein verbessertes Signal-Rausch-Verhältnis bei gleicher Messdauer.

Die optionale GEM/SECS-Software erleichtert im Bedarfsfall die Integration des Gerätes in einen Produktionskreislauf. Mit der Mapping-Funktion lassen sich vollständige Waferkarten automatisch erstellen.

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