Vakuummessgerät COMBIVAC CM 51

Für robuste Industrie- und Forschungsanwendungen

Das neue dreikanalige Befehls- und Bediengerät COMBIVAC CM 51 für Industrie- und Forschungsanwendungen überwacht und steuert den gesamten Vakuumdruckbereich von Atmosphärendruck (1000 mbar) bis weit in den Ultrahochvakuumbereich (10-9 mbar). Alle Kanäle können gleichzeitig und unabhängig voneinander betrieben werden.

Das Messgerät eignet sich für passive Sensoren des Pirani- und Penning-Prinzips, die sich durch ihr strahlungsbeständiges, ausheizbares und robustes Messsystem auszeichnen. Das COMBIVAC CM 51 mit den passiven Sensoren ist besonders für harte und korrosive Industriebedingungen ausgelegt. Außerdem kann es problemlos in strahlungsbeständigen und ausheizbaren Anlagen, bei denen nur passive Sensoren, die keine störende Elektronik aufweisen (z.B. bei Radioaktivität), verwendet werden.

Typische Einsatzgebiete sind:

  • Prozessindustrie: Vakuumöfen, Elektronenstrahlschweißen, Beschichtung, Lampen und Röhren.
  • Forschung und Entwicklung: Beschleuniger mit radioaktiver Umgebung, MBE (Molecular Beam Epitaxy), STM (Scanning Tunneling Microscope).
  • Analysentechnik: Oberflächenanalyse.

Weitere Vorteile:

  • Kompaktes Tischgehäuse, einbaufähig in Racks (1/4 19 Zoll, 3 HE).
  • Hohe Zuverlässigkeit und Lebensdauer der passiven Sensoren.
  • 3-Kanal-Messung und Anzeige gleichzeitig.
  • Messleitungslänge bis 100 m möglich.
  • Kommunikation und Fernsteuerung über RS 232C und Profibus.
  • Anschluss von justierten, temperaturkompensierten THERMOVAC-Sensoren.
  • Anschluss von kompakten, ausheizbaren und robusten Penning-Messsystemen.
  • Automatische Umschaltung und Spannungskontrolle von THERMOVAC- auf Penning-(Kaltkathode-)Betrieb.
  • Fehlermeldung je Kanal, z.B. bei Fadenbruch, defekter Leitung oder nichtgezündeter Plasmaentladung.
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