Oberflächenmessgerät MicroSpy Topo DT

Darf es ein bisschen mehr sein?

„Dual Technology“, kurz DT, steht auf dem neuen MicroSpy Topo von Fries Research & Technology (FRT). Diese zwei Buchstaben signalisieren die besondere Stärke des vielseitigen Oberflächenmessgeräts: Die Kombination eines Spinning-Disc-Konfokalmikroskops mit einem Weißlicht-Interferometer. Damit lassen sich sowohl minimal als auch stärker strukturierte Proben berührungslos, zerstörungsfrei und binnen weniger Sekunden mit Mikro- und Nanometerauflösung vermessen. Konzipiert wurde das optische Messgerät für Anwender in der Forschung und Produktentwicklung sowie der begleitenden Produktionskontrolle zum Beispiel zur Messung von Rauheit, Kontur und 3D-Topographie.

Minimal strukturierte Probenoberflächen wie Linsen, Glas oder Wafer misst das Weißlicht-Interferometer im Phase-Shift-Modus. Die 3D-Topographie wird dabei typischerweise mit Sub-Nanometer-Auflösung in weniger als 10 s in einem Bildfeld von bis zu 7,1 x 5,3 mm großflächig erfasst. Die generierte Topographie ist Ausgangspunkt für weitere hochpräzise Geometrie-, Rauheits- oder Ebenheitsanalysen am Messcomputer. Im Mirau-Modus wird im Gegensatz zur Phase-Shift-Interferometrie der maximale Interferenzkontrast einer Fokusebene ausgewertet, so dass auch stärker strukturierte Oberflächenstrukturen zuverlässig in 3D gemessen werden. In beiden Modi überzeugt die variable Messfeldgröße ohne Auflösungsverlust sowie die hohe Messgeschwindigkeit.

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Ein hohes Maß an Flexibilität bietet das integrierte Konfokalmikroskop, da hier die verschiedensten für die Lichtmikroskopie entwickelten Objektive eingesetzt werden können. Ein Beispiel dafür sind die optional erhältlichen Long-Distance-Objektive für große Arbeitsabstände.

Dank seines Objektivrevolvers ist der MicroSpy Topo DT in der Lage, gleichzeitig bis zu sechs verschiedene Objektive aufzunehmen, die durch einfaches Drehen schnell gewechselt werden können. Die Positionierung der Proben erfolgt per motorisiertem Verfahrtisch und CCD-Kamera. Das kompakte Single-Sensor-System aus dem Hause FRT ist auf einer hochwertigen Granitbasis aufgebaut, wodurch maximale Systemstabilität und metrologisch rückführbare Ergebnisse ermöglicht werden.

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