NewsCarl Zeiss gewinnt Thüringer Innovationspreis 2011

Das System PROVE^® von Carl Zeiss hat den Thüringer Innovationspreis 2011 in der Kategorie Industrie & Material gewonnen. Der Preis wurde am 24. November im Rahmen des Innovationstages Thüringen in Erfurt von der Stiftung für Technologie, Innovation und Forschung Thüringen (STIFT) verliehen. Dieses Metrologiesystem wird in der Halbleitertechnik eingesetzt und vermisst Photomasken, um mögliche Positionsfehler von Strukturen zu minimieren. Die fehlerfreie Positionierung der Strukturen ist eine wesentliche Voraussetzung für das Funktionieren von Computerchips. Fast alle in größerer Stückzahl hergestellten Chips werden mit Hilfe eines photolithographischen Verfahrens hergestellt. Photomasken spielen dabei eine wesentliche Rolle, da sie das Chipdesign enthalten. Alle Positionen, Größen und Abstände von den im Design enthaltenen Strukturen sind in den Photomasken vordefiniert. Die Maske als wesentliches Element des Chipherstellungsprozesses muss deshalb höchsten Qualitätsansprüchen genügen.