Mikro- und Nanofabrikation

40. MNE-Konferenz

Kürzlich fand in Lausanne zum 40. Mal die Micro and Nanoengineering (MNE) Konferenz statt; Europas größte Konferenz zur Mikro- und Nanofabrikation, die aus der ganzen Welt über 800 Wissenschaftler und Ingenieure aus Hochschulen, Forschungseinrichtungen und Firmen zusammenbringt.

Mit dem dritten Platz bei der Micro and Nanoengineering Konferenz 2014 in Lausanne ausgezeichnete Rasterelektronenmikroskop-(REM-)Aufnahme von Dr. Thomas Löber von der TU Kaiserslautern. Die Aufnahme zeigt in 3500-facher Vergrößerung einen Schnitt durch die dreidimensionale Struktur eines Fotolacks. (Bild: TU Kaiserslautern).

Ein besonderes Programm-Highlight ist der alljährliche Wettbewerb zum "Micro Graph Award", bei dem dieses Jahr mehr als 100 mikroskopische Aufnahmen eingereicht wurden. Ganz vorn unter den Preisträgern war dieses Jahr der Physiker Dr. Thomas Löber vom Nano Structuring Center der TU Kaiserslautern mit zwei eingereichten Beiträgen. In dem internationalen Teilnehmerfeld erlangte er den dritten Platz sowie ein weitere Platzierung unter den besten zehn Beiträgen.

Mit dem dritten Platz wurde eine Aufnahme ausgezeichnet, die einen Schnitt durch die dreidimensionale Struktur eines Fotolacks zeigt. In den würfelförmigen Stapel der Lackstruktur wurden mit einem Ionenstrahl punktuell hineingeschnitten, um dessen innere Struktur zu untersuchen. Die besondere Herausforderung bei der Schnittpräparation und Erstellung der Aufnahme war es, das Schmelzen des polymeren Lackes zu verhindern.

Die Aufnahme, die eine 3500-fache Vergrößerung hat, wurde mit der fokussierten Ionenstrahlanlage (FEI Helios Nanolab 650 Dualbeam) aufgenommen, die im Nano Structuring Center erst seit einem Jahr in Betrieb ist. Von dem in der Bedienung sehr anspruchsvollen Gerät werden mittels des Elektronenstrahls Rasterelektronenbilder aufgenommen und gleichzeitig mit einem Gallium-Ionenstrahl gezielt Material von der Probe abgetragen. Die Probe wurde von Michael Renner aus der Arbeitsgruppe "Optische Technologien und Photonik" der TU Kaiserslautern mit einem 3D-Laser-Lithographie-System (Nanoscribe) hergestellt.

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Weitere Informationen:

Dr. Sandra Wolff, Nano Structuring Center der TU Kaiserslautern, E-Mail: wolff@physik.uni-kl.de; Internet: www.nsc.uni-kl.de.

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