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Ofensystem fürs Reinraumlabor

Ein Ofensystem im Reinraum des Fraunhofer-Institut IISB in Erlangen. Das neue, von der DFG geförderte Ofensystem für das Reinraumlabor wird erweiterte Möglichkeiten zur Herstellung von Halbleitern bieten. (Bild: Kurt Fuchs)
