EFDS-Tutorial: Ionenstrahlen in der Oberflächen- und Dünnschichtforschung

Dieses Tutorial steht unter dem Oberthema Ionenstrahlen. Ein schwerpunktmäßiges Ziel des Tutorials ist es, Möglichkeiten des Einsatzes von Ionenstrahlen bei der praktischen Oberflächen- und Dünnschichtforschung aufzuzeigen.

Dabei soll es insbesondere um die Optimierung von Schichteigenschaften (elektrisch, optisch, magnetisch, mechanisch), gezielte Herstellung und Nutzung von Ionen-Implantationsprofilen, definierte Oberflächenbearbeitung (Reinigen, Ätzen, Maskentechniken, Ionenpräparation) und moderne Ionenstrahlanalytik gehen.

Veranstalter:

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V.
Gostritzer Str. 63
01217 Dresden
Telefon: 0 3 51 / 871 83 70
E-Mail: [email protected]
http://www.efds.org