SpurenverunreinigungenTOC-Analyse in der Photovoltaik-Industrie
Bestimmung organischer Spurenverunreinigungen auf Wafer-Oberflächen. Da im Photovoltaik-Markt eine Wettbewerbsverschärfung zu beobachten ist, kann die Verbesserung von Produktqualität und Solarzellenfunktion entscheidende Vorteile bringen.
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Bild 5: TOC-Oberflächen-Kontamination bei fleckigen und „normalen“ Wafern (Charge A vs. Charge B), gemessen mit Oberflächenextraktions-TOC-Analyse.