Multi-Spitzen-RastertunnelmikroskopNeuer Wert für den Oberflächenwiderstand von Silicium

Silicium ist das mit Abstand am weitesten verbreitete Material in der Halbleiterindustrie. Doch seine elektronischen Eigenschaften sind immer noch nicht vollständig erforscht. An seiner Oberfläche leitet es den elektrischen Strom bis zu tausendmal besser als im Inneren.

Anzeige