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Axio Imager Vario von ZEISS auf der Control

Axio Imager Vario von ZEISS mit motorisierter Säule und Reinraum-Kit.

Auf der internationalen Fachmesse für Qualitätssicherung Control 2013 stellt ZEISS den neuen Hardware-Auto-Focus und das Reinraum-Kit für das bewährte Mikroskopsystem Axio Imager Vario vor.

Ein integrierbarer Autofokus sorgt für eine schnelle und präzise Fokuseinstellung. Er eignet sich besonders für Oberflächenprüfungen reflektiver, kontrastarmer Proben. Sowohl im Auflicht als auch im Durchlicht (Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisationskontrast und schiefe Beleuchtung) gewährleistet das Fokus-System eine hohe Präzision von bis zu 0,3 Tiefenschärfen des Objektivs. Der Sensor registriert dabei die Änderungen der Fokusposition und kompensiert etwaige Abweichungen über den Direktzugriff auf den Z-Trieb des Mikroskops automatisch und schnell. Damit bleiben selbst große Proben wie Bildschirme oder Solarpanels in xy-Richtung ständig im Fokus des Betrachters. Der Hardware-Auto-Focus arbeitet dabei optimal mit der ZEISS Software AxioVision zusammen und ist vollständig in Module wie beispielsweise MosaiX für die automatisierte Übersichtsbildaufnahme integriert.

Zum Einsatz in Reinräumen ist Axio Imager Vario nach DIN EN ISO 14644-1 zertifiziert und erfüllt mit dem Reinraum-Kit die Anforderungen der am häufigsten genutzten Reinraumklasse ISO 5. Diese entspricht in der ursprünglichen FED STD 209E (1992) Norm der Klasse 100. Umfangreiches Zubehör wie der 7-fach Objektivrevolver mit Partikelschutz und Niesschutz stellen sicher, dass Proben wie Wafer und Photomasken jederzeit sauber sind.

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