Kapazitive Abstandsmessung
Präzision ist keine Haarspalterei
IBS Precision Engineering präsentiert das neue hochauflösende Messsystem CPL490 für kapazitive Abstandsmessung von Lion Precision. Das berührungslos arbeitende Präzisionssystem bietet die enorme Auflösung bis zu 50 pm (50 x 10-9 mm). Damit erkennt es Abweichungen, die rund ein Millionstel Mal kleiner sind als der Durchmesser eines menschlichen Haars.
Die sehr hohe maximale Bandbreite von 50 kHz ermöglicht eine hohe zeitliche Dynamik während der Messung. Der speziell für das CPL490 entwickelte Sensor mit integrierter aktiver Elektronik arbeitet mit äußerst geringem Eigenrauschen hochpräzise und ist zur Minimierung von Temperaturdrifts thermisch kompensiert.
Kapazitive Positionssensoren funktionieren wie ein Plattenkondensator, bei dem eine geladene Platte die Sensoroberfläche und die zweite das Messobjekt repräsentiert. Der hochsensible Sensor erfasst kleinste Kapazitätsänderungen, die sich aus einer Positionsänderung des Messobjekts relativ zum Sensor ergeben. Da er berührungslos und ohne Wärmeerzeugung am Messpunkt arbeitet, ist eine Rückwirkung oder Beschädigung des Messobjekts ausgeschlossen. Kapazitive Messfühler werden nicht durch die magnetischen Eigenschaften des Materials beeinflusst.
Der speziell für das CPL490 entwickelte Sensor der zweiten Generation ist für die Messbereiche 10, 50 und 100 μm erhältlich. Er erzielt die maximale Auflösung von 0,05 nm (= 50 pm) mit dem Messbereich 10 μm bei der Bandbreite von 1 kHz.
Optional erhältliche Software-Treiber für LabVIEW von National Instruments ermöglichen eine Fernauswahl von Empfindlichkeit und Frequenz. Die Ausgangssignale werden sowohl über einen BNC-Stecker an der Frontblende als auch über einen 68-pin NI-Anschluss auf der Rückseite des Gehäuses ausgegeben. IBS Precision Engineering liefert auf Anfrage auch vakuumgeeignete Sensoren (UHV) sowie kundenspezifische Bauformen und -größen für Spezialanwendungen.
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