NIR-Mikroskop LEXT OLS3000IRHalbleiterinspektion von Innen

LEXT OLS3000IR heißt das neuste Olympus Modell aus der Reihe der Nah-Infrarot-Mikroskope für die Silicium-Inspektion. Das konfokale Laser-Scanning-Mikroskop wurde speziell für die zerstörungsfreie, hochauflösende Beobachtung des Inneren von Silicium-Wafern, IC-Chips, MEMS sowie anderer Bauteile entwickelt und verfügt über einen 1310-nm-Laser.