ElektronenmikroskopieAntriebe und Positioniersysteme
Die Elektronenmikroskopie ermöglicht Untersuchungen mit extrem hoher lateraler Auflösung bis in den Bereich unter einem Nanometer. Dies stellt allerdings auch sehr große Anforderungen an die abbildenden Elemente.
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Bild 1: Da bei Elektronenmikroskopen die Wellenlänge des Lichts als Begrenzungsfaktor keine Rolle spielt, lassen sich sogar die Abstände einzelner Atome erkennen. Transmissions-Elektronenmikroskope (TEM) erreichen Auflösungen bis 0,1 nm; bei Rasterelektronenmikroskopen (SEM, Scanning Electron Microscope) liegt die Auflösung im Bereich von 1 nm. (Bild: Dr. Reiner Ramlau, MPI für Chemische Physik fester Stoffe)