ElektronenmikroskopieAntriebe und Positioniersysteme
Die Elektronenmikroskopie ermöglicht Untersuchungen mit extrem hoher lateraler Auflösung bis in den Bereich unter einem Nanometer. Dies stellt allerdings auch sehr große Anforderungen an die abbildenden Elemente.
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Bild 3: Piezo-Stellantriebe eignen sich als kompakte Antriebslösung, um Blenden für die Justage des Elektronenstrahls zu verstellen oder andere Komponenten nachzuführen. Auch beim Proben-Präparieren sind Piezomotoren und Piezoaktoren als Positionierer geeignet. (Bild: Physik Instrumente)