ElektronenmikroskopieAntriebe und Positioniersysteme
Die Elektronenmikroskopie ermöglicht Untersuchungen mit extrem hoher lateraler Auflösung bis in den Bereich unter einem Nanometer. Dies stellt allerdings auch sehr große Anforderungen an die abbildenden Elemente.
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Bild 8: Das PIShift-Antriebsprinzip basiert auf einem einzelnen piezoelektrischen Aktor. Der Aktor dehnt sich langsam aus und nimmt einen Läufer mit. Die schnelle Kontraktion des Aktors kann der Läufer aufgrund seiner Trägheit nicht nachvollziehen und verharrt auf seiner Position. (Bild: Physik Instrumente)