Piezo-ScantischeKombination unterschiedlicher Mikroskopietechniken
Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Beispiele reichen von der Halbleiterfertigung über die Biotechnologie bis hin zur optischen Messtechnik und Mikroskopie.
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Für die in jedem Fall notwendige, hochgenaue und dynamische Probenpositionierung bieten piezobasierte Scantische, die sich dank ihrer kompakten Bauweise gut in die Mikroskope integrieren lassen, gute Voraussetzungen. (Alle Bilder: Physik Instrumente / WITec)