Piezo-ScantischeKombination unterschiedlicher Mikroskopietechniken
Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Beispiele reichen von der Halbleiterfertigung über die Biotechnologie bis hin zur optischen Messtechnik und Mikroskopie.
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Für hochauflösende optische Informationen lässt sich das Mikroskop auch zusätzlich mit Nahfeldmikroskopie (SNOM) ausstatten: Hier die SNOM-Abbildung eines Nukleus (Zellkerns) einer Ratten-Leberzelle.