FachbeitragDreidimensionales Laserschreiben im Nanometermaßstab
Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Beispiele reichen von der Halbleiterfertigung über die Biotechnologie bis hin zur optischen Messtechnik und Mikroskopie. Nanopositioniersysteme mit piezoelektrischen Aktoren sind in solchen Applikationen meist das Mittel der Wahl.
Seite [3 von 8]
 | | | Bild 3 von 8 | | | |
Bild 1: Neuartiges Laserlithografiesystem der Nanoscribe GmbH, mit dem sich erstmals komplexe dreidimensionale Mikro- und Nanostrukturen in photosensitiven Materialien herstellen lassen. Die Daten können direkt mit CAD-Software erzeugt werden (Foto: Nanoscribe).