FachbeitragDreidimensionales Laserschreiben im Nanometermaßstab
Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Beispiele reichen von der Halbleiterfertigung über die Biotechnologie bis hin zur optischen Messtechnik und Mikroskopie. Nanopositioniersysteme mit piezoelektrischen Aktoren sind in solchen Applikationen meist das Mittel der Wahl.
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Bild 6: Die Feinjustierung von Objekt oder Probe übernimmt das Piezo- Nanopositioniersystem, das nicht nur hochgenau arbeitet, sondern sich auch gut in die Applikation integrieren ließ (Foto: Physik Instrumente (PI)/Nanoscribe).