FachbeitragDreidimensionales Laserschreiben im Nanometermaßstab
Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Beispiele reichen von der Halbleiterfertigung über die Biotechnologie bis hin zur optischen Messtechnik und Mikroskopie. Nanopositioniersysteme mit piezoelektrischen Aktoren sind in solchen Applikationen meist das Mittel der Wahl.
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Von dem neuen Lithografieverfahren, mit dessen Hilfe sich reproduzierbare Strukturen vollautomatisch und mit einer zuvor nicht vorhandenen Design-Flexibilität auf Submikrometerskalen realisieren lassen, werden viele Anwendungen vor allem im Forschungs- und Entwicklungsbereich profitieren (Foto: Nanoscribe).