3D-RöntgenbilderFeinste Details eines Mikrochips sichtbar gemacht
Forschende des Paul Scherrer Instituts PSI haben detaillierte 3D-Röntgenbilder eines handelsüblichen Computerchips erstellt. Dabei wurden erstmals zerstörungsfrei und ohne Verzeichnungen oder Verzerrungen die Verläufe der innen liegenden, nur 45 nm breiten Stromleitungen und die 34 nm hohen Transistoren deutlich sichtbar.
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Die PSI-Forschenden Mirko Holler (rechts) und Manuel Guizar-Sicairos an der Strahllinie cSAXS an der Synchrotron Lichtquelle Schweiz SLS des Paul Scherrer Instituts. Hier haben sie die dreidimensionale Struktur eines Mikrochips sichtbar gemacht. (Foto: Paul Scherrer Institut / Markus Fischer)