Oberflächenmessgerät MicroGlider 600Ebenheit an großen Proben messen

Funktionelle Strukturen und die Bauteile, auf die sie aufgebracht werden, unterliegen immer geringeren Fertigungstoleranzen. Zudem werden die Bauteile (z.B. Wafer) zunehmend größer. Fries Research & Technology (FRT) stellte mit dem MicroGlider 600 unlängst ein multisensorfähiges Oberflächenmessgerät vor, das beiden Anforderungen gerecht wird.