Oberflächenmessgerät MicroGlider 600

Ebenheit an großen Proben messen

Funktionelle Strukturen und die Bauteile, auf die sie aufgebracht werden, unterliegen immer geringeren Fertigungstoleranzen. Zudem werden die Bauteile (z.B. Wafer) zunehmend größer. Fries Research & Technology (FRT) stellte mit dem MicroGlider 600 unlängst ein multisensorfähiges Oberflächenmessgerät vor, das beiden Anforderungen gerecht wird. Dank eines erhöhten Portalaufbaus und eines großen luftgelagerten Positioniertisches können Bauteile mühelos auf ihre Ebenheit und andere Oberflächenparameter nanometergenau vermessen werden – berührungslos und zerstörungsfrei.

Ein Highlight des neuen FRT-Messgerätes ist der 600 x 600 mm große Positionierungstisch (bis zu 1,5 x 1,5 mauf Anfrage erhältlich). Durch den berührungslosen Antrieb der Linearmotoren und die Luftlagerung ermöglicht er hohe Messgenauigkeit und ein deutlich verringertes Höhenrauschen (100 nm auf 600 mm Verfahrweg). Dadurch eignet sich der neue MicroGlider 600 besonders für schnelle, hochauflösende Ebenheitsmessungen an großen Flächen wie zum Beispiel Glassubstraten für die Halbleiter-, MEMS- und Solarindustrie. Je nach Anzahl der Messpunkte bestimmt der MicroGlider Ebenheits- und Oberflächendaten wesentlich schneller und präziser als herkömmliche One-Shot-Verfahren (z.B. Interferometer).
FRT bietet die MicroGlider-Plattform in einem Baukastensystem mit rund 25 verschiedenen Sensoren, unterschiedlichen Tischgrößen sowie Software an.

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