Dünschichtreflektometer FTR

Hochaufgelöste Dickenmessung

FRT bringt mit dem Dünnschichtsensor FTR ein spezielles Modell für die Dickenmessung transparenter dünner Schichten und Schichtsysteme auf den Markt, ein optisches Dünnschichtreflektometer.

Das reflektometrische Verfahren zeichnet sich durch die berührungslose, zerstörungsfreie Messung mit hoher Auflösung aus und ist wegen dieser Eigenschaft besonders für den Einsatz an sensiblen Materialien der Halbleiter-, MEMS- und Solartechnik geeignet.

Leicht, klein und verschleißfrei - das sind Eigenschaften des FTR-Messkopfs, der sich besonders gut für transparente, glatte Schichten eignet. Der Messvorgang in Kombination mit einem der Messgeräte von FRT läuft komplett berührungslos und zerstörungsfrei ab. Anwendung findet der Sensor zum Beispiel bei Dickenmessungen von Oxiden, Nitriden, Fotolacken und anderen optisch transparenten Schichten.

Der FTR-Dünnschichtsensor basiert auf der spektral aufgelösten Reflexionsmessung und einer hochentwickelten Auswertesoftware. Die Bestimmung der Dicke dünner Schichten beruht auf der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen des dünnen Films reflektiert werden. Die Auswertung dieses spektralen Interferenzmusters mit der FRT-eigenen Software liefert die Informationen zur Schichtdicke des Films mit Nanometerauflösung. Die Ergebnisse werden erfasst, ausgewertet und visualisiert.

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