Von Gummi bis Diamant

Analyse von Dünnschichten

Mit dem neuen Micro-Slurry-Jet-Erosion-(MSE-)Testsystem lassen sich Oberflächen mittels Bestrahlung durch Mikropartikel auf ihre Festigkeit prüfen.

Das MSE-Testsystem analysiert die Oberflächenfestigkeit und sogar die Festigkeitsverteilung verschiedenster Materialien von gelartig bis diamanthart, ohne darunter liegende Schichten oder Substrate zu beschädigen (Bild: Rubröder International Trading GmbH)

Für die Festigkeitsanalyse von Oberflächen wurden bisher Verfahren wie die Kavitationserosion, Reibe- und Ritztests verwendet, die für dünne Schichten jedoch oft nicht geeignet sind, da sie darunter liegende Schichten und Substrate beschädigen und damit die Messergebnisse beeinträchtigen können. Aus diesem Grund hat das japanische Unternehmen Palmeso in Zusammenarbeit mit der Fukui Universität das Micro-Slurry-Jet-Erosion-(MSE-)Testsystem entwickelt, das die Oberflächenfestigkeit mittels Bestrahlung durch Mikropartikel untersucht. Der Strahl erzeugt einen definierten Materialabtrag auf der Oberfläche, so dass die Festigkeitsverteilung unabhängig vom Härtegrad des Materials bis in eine Tiefe von ca. 200 µm gemessen werden kann.

Damit lassen sich neben harten Materialien wie Diamant auch weiches Material wie Gummi und seit neuestem sogar gelartige Oberflächen überprüfen. Für eine besonders präzise Analyse sorgt nun auch die Möglichkeit, die Festigkeitsverteilung innerhalb von Ein- und Mehrschichtsystemen zu messen.

Das MSE-Testsystem wird seit 2015 von der Rubröder International Trading GmbH vertrieben.

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