Vakuumtechnik

Pfeiffer Vacuum stellt Turbopumpen vor

Mit der HiPace 350 und 450 stellt Pfeiffer Vacuum Turbopumpen vor, die sich für Anwendungen wie Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie, Messtechnik, Teilchenbeschleuniger und Plasmaphysik eignen.

Die Turbopumpe HiPace 450. © Pfeiffer Vacuum

Ihr Einsatzspektrum umfasst neben Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik auch Anwendungen in den Bereichen Beschichtung, Forschung und Entwicklung sowie in der Industrie.

HiPace 350 und 450 zeichnen sich laut Pfeiffer Vacuum durch geringes Gewicht und geringen Platzbedarf bei hoher Leistung aus. Mit einem Hybridlager, bestehend aus einem keramischen Kugellager auf der Vorvakuumseite und einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite, haben die Turbopumpen der Reihe „HiPace“ eine robuste Lagerung.

Die Rotorkonstruktion der Turbopumpen führt zu einem hohen Saugvermögen für leichte Gase, zu Kompatibilität mit Vorvakuumpumpen und hohem Gasdurchsatz sowie sehr guter Kompression leichter Gase. Die Pumpen, die im Segment Saugvermögen 300 bis 700 l/s liegen, können in jeder beliebigen Ausrichtung installiert werden.

Die integrierte Hi-Pace-Antriebselektronik hat mehrere Kommunikationsschnittstellen, einschließlich ProfiNet- und EtherCat ohne Zunahme der Baugröße. Remote- und Sensorfunktionalitäten ermöglichen die Analyse von Pumpendaten zur optimalen Prozessüberwachung während des Betriebes. Die Pumpen sind nach Semi S2, UL, CSA und Nema 12 zertifiziert. Die Lagerwartung sowie der Austausch von Lagern können beim Kunden vor Ort durchgeführt werden. Die Pumpen laufen bis zu 5 Jahre wartungsfrei.

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Quelle: Pfeiffer Vacuum

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