ElektronenmikroskopieAntriebe und Positioniersysteme
Die Elektronenmikroskopie ermöglicht Untersuchungen mit extrem hoher lateraler Auflösung bis in den Bereich unter einem Nanometer. Dies stellt allerdings auch sehr große Anforderungen an die abbildenden Elemente.
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Bild 6: Funktionsprinzip des PiezoWalk Antriebs am Beispiel der NEXLINE Technologie: Klemm- und Vorschubbewegung sind auf getrennt angesteuerte Längs- und Scheraktoren verteilt. NEXACT Antriebe setzen den Bewegungszyklus mit Biegeaktoren um. (Bild: Physik Instrumente)