ElektronenmikroskopieAntriebe und Positioniersysteme
Die Elektronenmikroskopie ermöglicht Untersuchungen mit extrem hoher lateraler Auflösung bis in den Bereich unter einem Nanometer. Dies stellt allerdings auch sehr große Anforderungen an die abbildenden Elemente.
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Bild 7: Ultraschall-Piezomotoren sind schnell und für Positionieraufgaben im Sub-μm-Bereich geeignet. (Bild: Physik Instrumente)