CrossBeam-System AURIGACrossBeam-System für die Nanotechnologie
Carl Zeiss bietet jetzt ein neu entwickeltes System für Mikroskopie, Analyse und Bearbeitung von Präparaten in den Materialwissenschaften, den Life Sciences und der Halbleitertechnologie an. Das AURIGA™, eine Kombination aus Elektronenmikroskop und Gallium-Ionensäule, ermöglicht es, Materialproben hochaufgelöst abzubilden und sie chemisch zu analysieren.
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Querschnitt durch eine stark eisenhaltige Probe von Flugasche aus West-Australien, aufgenommen mit einem energieselektiven Detektor für Rückstreuelektronen. Die sorgfältige Präparation mit der Gallium-Ionensäule ermöglicht eine feine Analyse der chemischen Mikrostruktur der Probe. (Prof. Arie Van Riessen, Curtin University of Technology, Australia).