Ofensystem fürs ReinraumlaborForschung an Halbleiterbauelementen
Die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) fördert die Anschaffung eines Hochtemperatur-Ofensystems für den Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU). Mit dem Gerät forschen die Wissenschaftler an der Weiterentwicklung von Halbleiterbauelementen.
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Ein Ofensystem im Reinraum des Fraunhofer-Institut IISB in Erlangen. Das neue, von der DFG geförderte Ofensystem für das Reinraumlabor wird erweiterte Möglichkeiten zur Herstellung von Halbleitern bieten. (Bild: Kurt Fuchs)