NewsZusammenarbeit zwischen Carl Zeiss und PTB zur EUV-Lithografie ausgeweitet

Der Unternehmensbereich Halbleitertechnik von Carl Zeiss und die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) werden auch zukünftig bei der Vermessung von Optiken der EUV-Lithografie (Extreme-Ultraviolett-Lithografie) zusammen arbeiten. Die Kooperation der beiden Institutionen wurde nun um vier Jahre verlängert.