Piezo-AntriebePiezoantriebe für die Fokus-Justierung

In der Mikroskopie und bei der Oberflächeninspektion ist häufig eine dynamische und präzise Fokus-Justierung in Richtung der optischen Achse erforderlich, z.B. bei der Autofokussierung auf die Topografie der Oberfläche oder auf unterschiedliche Brennebenen zur computerunterstützten Darstellung dreidimensionaler Strukturen.