Piezo-Antriebe
Piezoantriebe für die Fokus-Justierung
In der Mikroskopie und bei der Oberflächeninspektion ist häufig eine dynamische und präzise Fokus-Justierung in Richtung der optischen Achse erforderlich, z.B. bei der Autofokussierung auf die Topografie der Oberfläche oder auf unterschiedliche Brennebenen zur computerunterstützten Darstellung dreidimensionaler Strukturen. Piezo-Z-Antriebe für Objektive, Objektivrevolver oder Probenhalter positionieren innerhalb weniger ms auf wenige nm genau und lassen sich vergleichsweise einfach in die Anwendung integrieren.
Speziell für die Fokus-Feinjustierung hat die Karlsruher Firma Physik Instrumente Piezoantriebe im Programm, die sich flexibel an unterschiedliche Anforderungen anpassen. Direkt am Objektiv montiert, können sie beispielsweise beim Screening die Brennebenen anpassen, z.B. um Differenzen beim Füllstand von Proben auszugleichen. Für Anwendungen, bei denen nicht das Objektiv, sondern die Probe bewegt wird, z.B. bei der Phasenkontrast-Mikroskopie (DIC), gibt es ebenfalls geeignete Piezo-Z-Antriebe. Dank ihrer Kompaktheit lassen sie sich meist direkt in den bereits vorhandenen XY-Probenscanner integrieren.
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