Ellipsometer SmartSECharakterisierung von Schichten

Horiba Scientific bietet unterschiedlichste Produkte für die Schichtmesstechnik an, darunter Ellipsometer, Reflektometer und Interferometer. Als Nachfolger des spektroskopischen Ellipsometers MM-16 wurde nun das neue SmartSE eingeführt, welches, basierend auf derselben Messtechnik zur Charakterisierung von Schichten (Dicke, n, k), zusätzliche Funktionen wie die Visualisierung der Probenoberfläche und der Messposition liefert.