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Ellipsometer SmartSECharakterisierung von Schichten

Horiba Scientific bietet unterschiedlichste Produkte für die Schichtmesstechnik an, darunter Ellipsometer, Reflektometer und Interferometer. Als Nachfolger des spektroskopischen Ellipsometers MM-16 wurde nun das neue SmartSE eingeführt, welches, basierend auf derselben Messtechnik zur Charakterisierung von Schichten (Dicke, n, k), zusätzliche Funktionen wie die Visualisierung der Probenoberfläche und der Messposition liefert.

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Ellipsometer SmartSE: Charakterisierung von Schichten

Das SmartSE zeichnet sich durch seinen einfachen und damit kostengünstigen Aufbau aus, ohne dabei auf gewohnte Funktionen zu verzichten. Neben der Verwendung der ellipsometrischen Software-Plattform DeltaPsi2 lassen sich mit diesem System auch Fragen zu speziellen, nicht klassischen Proben (anisotrope Schichten und Oberflächen, polarisierende optische Bauelemente) beantworten.

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