Ellipsometer SmartSE

Charakterisierung von Schichten

Horiba Scientific bietet unterschiedlichste Produkte für die Schichtmesstechnik an, darunter Ellipsometer, Reflektometer und Interferometer. Als Nachfolger des spektroskopischen Ellipsometers MM-16 wurde nun das neue SmartSE eingeführt, welches, basierend auf derselben Messtechnik zur Charakterisierung von Schichten (Dicke, n, k), zusätzliche Funktionen wie die Visualisierung der Probenoberfläche und der Messposition liefert.

Das SmartSE zeichnet sich durch seinen einfachen und damit kostengünstigen Aufbau aus, ohne dabei auf gewohnte Funktionen zu verzichten. Neben der Verwendung der ellipsometrischen Software-Plattform DeltaPsi2 lassen sich mit diesem System auch Fragen zu speziellen, nicht klassischen Proben (anisotrope Schichten und Oberflächen, polarisierende optische Bauelemente) beantworten.

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