Ellipsometer UVISEL-2

Mit Visualisierung der Messposition

Das neue spektroskopische Ellipsometer UVISEL-2 von HORIBA Scientific verbindet höchste Messgenauigkeit mit vollständiger Automatisierung und einzigartiger Das neu entwickelte spektroskopische Ellipsometer UVISEL-2 von HORIBA Scientific zeichnet sich durch hohe Empfindlichkeit und Messgenauigkeit aus und dient zur Messung dünnster Schichten auch auf transparenten Substraten wie Glasträgern oder Kunststoff-Folien. Die vollständige Automatisierung der Probenpositionierung, die einfache Handhabung von Messprozeduren sowie ein Software-schaltbares Mikro-Spotsystem erleichtern die Anwendung dieses Ellipsometers.

Durch die patentierte Integration der Kamera in den Messkopf ist eine Visualisierung der Probenoberfläche und der Messposition möglich. Im Gegensatz zu herkömmlichen Systemen ist man nicht auf streuende Oberflächen zur Darstellung des Mess-Spots angewiesen.

Das UVISEL-2 verfügt über acht schaltbare, achromatische Micro-Spots mit Spot-Größen zwischen 34 µm und 1,2 mm. Dies ermöglicht die exakte Positionierung z.B. auf strukturierten oder gekrümmten Oberflächen, oder die Vermeidung von verschmutzten Bereichen und Rückseitenreflexen bei transparenten Substraten.

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