Spektroskopisches Ellipsometer

Messgenauigkeit gepaart mit Automatisierung

Neben dem erfolgreichen UVISEL bietet HORIBA Scientific nun auch das integrale spektroskopische Ellipsometer UVISEL2 an. Es verfügt über hohe Empfindlichkeit und Messgenauigkeit zur Messung dünnster Schichten auch auf transparenten Substraten wie Glasträgern oder Kunststoff-Folien.

Neben dem erfolgreichen UVISEL bietet HORIBA Scientific nun auch das integrale spektroskopische Ellipsometer UVISEL2 an.

Die vollständig automatisierte Probenpositionierung, die einfache Handhabung von Messprozeduren sowie ein softwareschaltbares Mikrospotsystem ermöglichen eine bedienerfreundliche Verwendung des Ellipsometers. Durch die patentierte Integration des Visualisierungssystems AutoView in den Messkopf ist eine einzigartige Darstellung der Probenoberfläche und der Messposition möglich. Dies ermöglicht auch die Visualisierung gut reflektierender Oberflächen, bei denen herkömmliche Systeme versagen.

Das UVISEL2 verfügt über acht schaltbare, achromatische Mikrospots mit Spotgrößen zwischen 35 µm und 2 mm. Dies ermöglicht die exakte Positionierung z.B. auf strukturierten, gekrümmten oder teilweise verschmutzten Oberflächen sowie auch zur Vermeidung von Rückseitenreflexen bei transparenten Substraten. Es wird in zwei Spektralbereichen geliefert, einer UV-VIS- (190...1000 nm) und einer UV-VIS-NIR-Variante (190...2100 nm).

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