Achema 2018 - Halle A28, Stand 11.0

Spektroskopisches Ellipsometer: Schnelle Messtechnik und gesteigerte Genauigkeit

Horiba Scientific, seit 30 Jahren Spezialist für die spektroskopische Ellipsometrie, hat die Markteinführung der neuesten Generation der modularen Modellreihe Uvisel angekündigt. Äußerlich kaum verändert, gibt es eine wesentliche Optimierung der inneren Qualitäten, wie z. B. der Einsatz einer Doppelmodulationstechnik zur Erhöhung der Messgenauigkeit.

Einsatz einer Doppelmodulationstechnik zur Erhöhung der Messgenauigkeit bei der Uvisel-Reihe von Horiba Scientific.

Die verwendete Messtechnik garantiert laut Unternehmen die höchstmögliche Empfindlichkeit, die auch bei solchen Probenoberflächen noch funktioniert, wo andere Techniken nicht mehr einsetzbar sind. Dazu zählen insbesondere auch sehr schwach reflektierende Oberflächen und kritische dünne, transparente Schichten. Mithilfe einer kontinuierlichen Nachführung der Messparameter lassen sich Messungen über den gesamten Spektralbereich unter Beibehaltung eines optimalen Signal-Rausch-Verhältnisses durchführen.

In zwei Versionen ist das Uvisel Plus verfügbar. Zum einen für den FUV-VIS-Bereich (190 bis 900 nm) und des Weiteren für den FUV-NIR-Bereich (190 bis 2100 nm). Merkmale des Ellipsometers sind die hohe Modulationsfrequenz, die Verwendung achromatischer Optik und der Verzicht auf bewegliche Komponenten während der Messung. Dadurch bedingt ist das Uvisel Plus weitgehend unempfindlich gegenüber störenden, äußeren Einflüssen.

Das modulare Konzept gestattet es, das Gerät bestens an die jeweilige Anforderung der Anwendung anzupassen. Dazu zählen manuelle und automatische Goniometer, motorisierte Mapping-Tische, Mikrospots bis 50 µm Spotdurchmesser und diverses Zubehör wie Probenhalter und Temperatur-, Gas- und elektrochemische Zellen. Damit lässt sich laut Horiba Scientific ein System zusammenstellen, das Anwenderwünsche erfüllt.

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